Устройства микроэлектромеханических систем (MEMS) используют электромагнитно-структурные, пьезоэлектрические, тепловые-структурные и другие мультифизические взаимодействия. Понимание взаимодействий между различными физиками имеет решающее значение для успешных проектов MEMS, что делает модуль MEMS, дополнением к программному обеспечению COMSOL Multiphysics®, идеально подходящим для анализа устройств MEMS.
Силы, вызванные тепловыми, электростатическими и пьезоэлектрическими эффектами, благоприятно масштабируются по мере уменьшения размеров устройства. Другими словами, в микромасштабе сдейм достаточно эффективен, чтобы включить ряд приложений, которые недоступны в макромасштабе.

Имитируйте MEMS-устройства и различные мультифизические взаимодействия
Модуль MEMS используется для моделирования кварцевых генераторов, а также многих других типов пьезоэлектрических устройств. Пьезоэлектрическое моделирование может включать в себя предварительное, а также нелинейные эффекты. С помощью модуля MEMS вы также можете моделировать эффекты теплового расширения в приводах и датчиках.
В дополнение к моделированию общих мультифизических явлений, модуль MEMS способен моделировать ряд сложных мультифизических взаимодействий, которые важны для точного моделирования устройств MEMS. Это включает в себя гигроскопическое набухание, термоэластичное и сжимающее амортизацию, двунаправленное взаимодействие жидкости и структуры (FSI), а также пьезорезистивные, электростриктивные и ферроэлектроупругие эффекты (включая гистерезис).
Модуль MEMS также можно использовать с другими дополнительными модулями COMSOL Multiphysics®. Например, когда он сочетается с модулем переменного/постоянного тока, вы можете анализировать магнитостриктивные устройства. Работа в сочетании с модулем строемной механики позволяет моделировать оболочку в устройствах MEMS, а добавление модуля Microfluidics предоставит вам дополнительные инструменты для анализа биомедицинских MEMS-устройств с акцентом на поток жидкости.